Máy quang phổ GD-OES GD-PROFILER 2

Hãng sản xuất: Horiba - Nhật Bản

Giới thiệu chung

• Dễ lắp đặt (không cần chân không cao UHV)
• Tốc độ ăn mòn lên tới micromet/ phút
• Phân tích các mẫu bán dẫn hoặc phi bán dẫn và mạ
• Phân tích định lượng chiều sâu
• Có thể đo tất cả các nguyên tố trong cùng 1 lần (bao gồm C, H, O, N và Cl)
• Độ phân giải lớp nằm trong dải nm
• Kiểu RF xung độc đáo có thể được áp dụng với các mẫu giòn và mạ.
• Tuân thủ ISO 14707 và tiêu chuẩn 16962

Thông số kĩ thuật

• Dải bước sóng: 110nm ~ 800nm
• Có tới 47 kênh nguyên tố
• Độ phân giải quang học:18 tới 25 pm đối với tất cả các nguyên tố.
• Độ nhạy của RF-GD nằm trong dải 10¹⁷nguyên tử/cm²
• Đối với các nguyên tố chính, độ chính xác điển hình là 0.4% và thời gian phân tích khoảng 90 giây.
• HORIBA Scientific (Jobin Yvon Technology) cung cấp hiệu chuẩn cho cả phân tích mẫu khối và hồ sơ lớp (CDP) cho các hợp kim của Fe, Al, Cu, Ti, Ni, Co, Zn, Sn và Pb sử dụng vật liệu tham chiếu đã được chứng nhận và cung cấp các đường chuẩn theo yêu cầu cụ thể.