Thiết bị phân tích phân cực ellip UVISEL

Hãng sản xuất: Horiba - Nhật Bản

Giới thiệu chung

Đây là thiết bị phân tích đặc tính màng mỏng lý tưởng cho ngành nghiên cứu và công nghiệp với ưu điểm không phá hủy, độ chính xác cao và đa công dụng.

Ưu điểm của thiết bị:

• Độ chính xác, độ nhạy và độ phân giải cao
• Dải phổ rộng: 190-2100 nm
• Thiết kế dạng mô đun
• Bộ phần mềm hoàn toàn tích hợp

Thiết bị cung cấp những thông tin sau:

• Độ dày màng từ 1Å tới >45µm^*
• Các hằng số quang học (n,k) cho màng đẳng hưởng, màng phân cấp
• Độ nhám bề mặt và giao diện
• Các tính chất quang học như hằng số hấp thụ α và vùng cấm quang học Eg
• Các tính chất của vật liệu: thành phần hợp kim, độ xốp, độ tinh thể, tính hình thái và nhất quán.
• Mueller matrix
• Sự khử cực

Thông số kĩ thuật

Thiết bị phân tích phân cực Ellip UVISEL có 4 cấu hình sau:

Thông số kỹ thuật:

• Dải phổ: 190-880 nm │ 210-880 nm │245-2100 nm │ 190-2100 nm
• Hệ phát hiện: Máy đơn sắc độ phân giải cao kết hợp với detector có độ nhạy cao hoặc hệ thống đa bước sóng 32/64 để thu thập dữ liệu nhanh.

Cấu hình bằng tay:

• Kích thước điểm: 0.08 – 0.1 – 1 mm (lỗ ngắm); 50µm FWHM theo yêu cầu
• Bệ mẫu: 150 mm, độ cao điều khiển bằng tay (4mm) và điều chỉnh độ nghiêng
• Giác kế: góc điều chỉnh bằng tay từ 55° tới 90° bằng bước 5°

Cấu hình tự động:

• Kích thước điểm điều chỉnh bằng tay hoặc tự động: 0.08 - 0.1 - 1 mm hoặc 0.08 - 0.12 - 0.25 - 1.2 mm (lỗ ngắm)
• Bệ mẫu tự động:Bệ mẫu XY 200x200mm, 300x300 mm, độ nghiêng và độ cao điều chỉnh bằng tay (4mm) , bệ mẫu XYZ, bệ theta
• Giác kế tự động: góc tự động điều chỉnh từ 40° tới 90° bằng bước 0.01°

Giác kế tích hợp:

• Góc tới điều chỉnh bằng tay: 35° tới 90° bằng bước 5°
• Gá mẫu: điều chỉnh độ cao trục z bằng tay 150mm, 20mm
• Hệ thống chuẩn trực tự động để định tuyến mẫu (chọn thêm)
• Kích thước: Rộng: 25cm; Cao: 35cm; Sâu: 21 cm

Cấu hình tại chỗ

• Sự thích ứng về mặt cơ học: mép bích CF35 hoặc KF40
• Dễ dàng chuyển đổi giữa cấu hình in-situ và ex-situ
• Xem thêm thông tin

Tùy chọn

• Phụ kiện: cell kiểm soát nhiệt độ, cell đựng chất lỏng, cell điện hóa, module phản xạ để đo phản xạ tại góc tới 0°
• Phản xạ kế quang phổ: 450-850nm, kích thước điểm 10µm
• Quan sát: CCD camera
• Xem thêm thông tin

Hiệu suất:

• Độ chính xác: Ψ= 45°±0.02° và Δ=0°±0.02° được đo trong cấu hình không khí truyền thẳng 1.5 – 5 eV
• Độ lặp lại: NIST 1000Å SiO2/Si (190-2100 nm): d ± 0.1 % – n(632.8nm) ± 0.0001