Bộ điều khiển lưu lượng khí (MFC) trong ứng dụng ngành sản xuất chất bán dẫn
Bộ điều khiển lưu lượng khí và ngành sản xuất chất bán dẫn có mối quan hệ như nào?
Sản xuất chất bán dẫn có một quy trình cực kỳ phức tạp,nghiêm ngặt, đòi hỏi công nghệ cao và tốn kém. Việc lựa chọn thiết bị phục vụ cho quy trình sản xuất chất bán dẫn cực kỳ quan trọng. Mà nội dung bài viết này sẽ giới thiệu tới bạn những điều có thể bạn chưa biết về bộ điều khiển lưu lượng khí (MFC) được ứng dụng trong ngành bán dẫn.
Mối quan hệ giữa bộ điều khiển lưu lượng khí và sản xuất chất bán dẫn
Bộ điều khiển lưu lượng khí (tên tiếng Anh: Mass Flow Controller (MFC)) là đồng hồ đo lưu lượng và cũng là thiết bị điều khiển dòng chảy của khí.
Mass flow controlle (MFC) là một phần quan trọng trong sản xuất chất bán dẫn. Sự biến đổi trong kiểm soát không đạt hoặc lỗi sản xuất trong MFC có thể làm giảm năng suất tấm bán dẫn hoặc thậm chí làm hỏng 1 lô hàng.
Trong quy trình sản xuất chất bán dẫn, MFC có vai trò đo và kiểm soát lưu lượng, tốc độ dòng khí đến điểm đặt mong muốn. Các thiết bị, linh kiện gồm bộ vi điều khiển và bộ vi xử lý, tấm silicon, chip nhớ/thiết bị lưu trữ, bóng bán dẫn và điốt là những sản phẩm thuộc ngành bán dẫn. Và bộ đo và điều khiển lưu lượng khí (MFC) được sử dụng cho một số ứng dụng quan trọng như làm sạch tấm bán dẫn,xử lý PCB, lắng đọng hơi hóa học, lắng đọng màng mỏng, phun & phủ trong quá trình sản xuất các thiết bị, linh kiện bán dẫn.
Yêu cầu trong sản xuất chất bán dẫn đối với bộ điều khiển lưu lượng khí
Khi sản xuất chất bán dẫn ngày càng phát triển, xu hướng công nghệ IoT đang làm tăng nhu cầu về các giải pháp đo tốc độ dòng chảy thông minh, điều đó càng thúc đẩy các yêu cầu về hiệu suất bộ điều khiển lưu lượng khí nghiêm ngặt hơn.
Yêu cầu độ chính xác cao
Các quy trình sản xuất trong ngành bán dẫn rất phức tạp và tốn kém. Nó yêu cầu thiết bị MFC phải thật sự chính xác trong kiểm soát lưu lượng và tốc độ dòng khí.
Ví dụ: quá trình phủ giống như quá trình lắng đọng màng mỏng (ví dụ, lắng đọng hơi vật lý phản ứng (PVD)), cần dòng khí lặp lại của khí phản ứng để đảm bảo các đặc tính của màng có thể tái tạo. Theo cách tương tự, tốc độ dòng khí cấp hoặc hỗn hợp khí có vai trò chính trong chất lượng của lớp phủ màng đạt được bằng cách sử dụng quy trình phủ phun plasma. Do đó, việc kiểm soát chính xác lưu lượng và chính xác tốc độ dòng chảy là rất quan trọng để quá trình phun plasma thành công và có thể lặp lại.
Yêu cầu làm việc ổn định trong mọi điều kiện yếu tố xung quanh
Trong quá trình sản xuất chất bán dẫn, bất cứ sự thay đổi đột ngột nào cũng có thể dẫn đến hậu quả khó lường. Do đó khi lựa chọn thiết bị MFC, họ đặc biệt chú trọng đến tính ổn định trong môi trường nhiệt độ, áp suất,...của thiết bị.
MFC tự động điều khiển tốc độ dòng khí theo tốc độ dòng đã đặt được gửi dưới dạng tín hiệu điện sẽ không bị ảnh hưởng bởi các yếu tố xung quanh như nhiệt độ, áp suất... Tuy nhiên, không phải hãng thiết bị MFC nào cũng có thể đáp ứng yêu cầu làm việc ổn định trong yếu tố môi trường xung quanh. Đã có rất nhiều khách hàng gặp một số khó khăn trong việc thiết lập lưu lượng liên tục và ổn định từ bộ điều khiển lưu lượng khối khí hiện có của họ. Đặc biệt là sự ổn định khó duy trì được ở những độ cao trong khí quyển.
*Có thể bạn quan tâm: Chứng nhận NOAA về hoạt động ổn định, hiệu quả ở các độ cao khí quyển khác nhau của SEC-Z500 series MFC
Yêu cầu khả năng thay thế lẫn nhau của MFC
Nếu mass flow controller bị hỏng trong quá trình sử dụng, đơn vị sản xuất cần phải thay thế MFC đó bằng loại MFC có cùng đặc tính dòng khí để đảm bảo không làm ảnh hưởng, thay đổi quy trình công nghệ sản xuất chip bán dẫn đang áp dụng của họ.
Mặt khác, các nhà sản xuất bán dẫn có thể yêu cầu bộ điều khiển lưu lượng khối khí sở hữu khả năng kiểm soát lưu lượng thấp hơn, thời gian phản hồi nhanh hơn để hỗ trợ các công nghệ chíp mới.
Vậy bạn đã biết bộ điều khiển lưu lượng khí nào có khả năng đáp ứng thay thế hoàn toàn tốt nhất chưa?
Bộ điều khiển lưu lượng khí Horiba - Giải pháp toàn vẹn cho các yêu cầu khắt khe
Thị trường Mass Flow Controlle của hãng Horiba chiếm đến 60% thị phần toàn cầu. Các model MFC của hãng sở hữu những ưu điểm xứng danh top dẫn đầu thế giới:
- Độ chính xác cao: để đo và điều khiển lưu lượng cho bất kỳ khí N2, O2, H2, Ar, C2H4, HF, SiH4, SF6 …
- Duy trì sự ổn định ở các độ cao trong khí quyển, không bị ảnh hưởng bởi các yếu tố nhiệt độ, áp suất xung quanh.
- Hoàn toàn có khả năng thay thế các sản phẩm cùng loại từ hãng khác, thậm chí mức độ phù hợp tốt hơn
- Có nhiều dòng model khác nhau phù hợp với nhu cầu sử dụng và giá cạnh tranh hợp lý
- Sẵn sàng cung cấp thiết bị chạy Demo nếu cần
- Có sự hỗ trợ trực tiếp từ đội ngũ chuyên gia hãng
Nhu cầu ứng dụng bộ điều khiển lưu lượng khí trong sản xuất chất bán dẫn ngày càng lớn. Đồng thời yêu cầu đối với thiết bị MFC cũng rất khắt khe. Do đó, dự báo thị trường mass flow controller sẽ tiếp tục tăng trưởng nhanh và mạnh hơn nữa. Mass Flow Controller chính hãng Horiba vẫn là thiết bị có khả năng đáp ứng các yêu cầu sản xuất đặt ra, không riêng lĩnh vực bán dẫn mà còn phù hợp với các lĩnh vực: dược phẩm, năng lượng mặt trời, công nghệ nano,...
Tham khảo Mass Flow Controlle nổi bật:
[Products:4904,4908,6136,4910]
